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工业级光栅检测:卓立四轴定位系统实现微米级精度与效率双飞跃
更新时间:2025-04-14浏览:243次

当你的 VR 眼镜出现模糊时, 问题可能藏在纳米级光栅里

消费者抱怨 AR 设备画面不清晰? 工业质检员反复校准色度计?这些问题的根源往往指向光栅元件的微观缺陷——

▶纳米级的周期误差  可导致意想不到的光线传输

▶K 矢量畸变  引发光线传播串扰,造成成像模糊 、色偏

传统接触式测量  划伤镀膜层 、精度低 、无法精确测试 K 矢量卓立光栅测试系统 ,重新定义纳米级光栅器件的质量基线

工业级光栅检测:卓立四轴定位系统实现微米级精度与效率双飞跃

设备内部实拍

一 、 Littrow 结构+纠偏算法 :破解衍射光栅的"基因密码"

工业级光栅检测:卓立四轴定位系统实现微米级精度与效率双飞跃

Littrow 结构示意图

▌λ/10000--0.02nm 级光栅周期解析精度

基于 Littrow 自准式入射结构, 系统通过精密调整入射角与衍射光强反馈, 实现 0.02nm 级 光栅周期测试灵敏度 。相较传统透射电子显微镜 、 原子力显微镜分析法, 分辨率提升 100倍。

▌0.005° --K 矢量高精度测试

独*算法实时解算光栅面内 K 矢量角度, K 矢量精度可达 0.005° ,   全面监测光栅器件面内 K 矢量异常 。某 AR 光波导客户借此将产品调试周期从 48 小时缩短至 6 小时。

▌支持多种光栅参数测试

光栅测试系统支持多类型光栅测试,包括 :闪耀光栅、反射全息光栅、透射全息光栅和布拉 格体全息光栅等 。助力 VR 、AR 行业客户 。(实际使用请咨询)

二、硬核技术矩阵:实验室精度,工业级可靠性

▶卓立四轴轴微米级定位系统

位移轴光栅尺反馈,重复定位精度±3μm,闭环分辨率:1μm

旋转轴光栅尺反馈,重复定位精度±0.003°,闭环分辨率:0.000152°

支持Φ254mm 超大光栅片全域 mapping,40s 完成单点测量,较手动调节效率提升 50 倍。

工业级光栅检测:卓立四轴定位系统实现微米级精度与效率双飞跃

光栅 mapping 结果

三、从实验室到产线:全场景解决方案

▶科研模式

开放 API 接口,支持自定义测量 Recipe,支持自定义数据处理。

▶工业模式

真空吸附,自动上下料,无缝对接 MES/QMS 系统,全自动检测

四 、 系统关键参数一览表

单点周期重复精度

≤0.02nm

单点周期绝对精度

≤ ±0.1nm

单点光栅面内矢量角绝对精度

≤±0.01°

单点光栅面内矢量角重复精度

≤±0.005°

单点测试时间

45s

可测光栅类型

反/透全息光栅 、 闪耀光栅 、全息体光栅

可测光栅尺寸

小于 8 英寸(支持定制)

五 、全面的软件功能 ,友好的软件界面

工业级光栅检测:卓立四轴定位系统实现微米级精度与效率双飞跃

六 、完整与快速的服务网络

▶资质认证 :卓立汉光以自主研发为核心,深耕光电仪器领域 26 年,公司布局全球化市场 通过高精度产品和定制化解决方案,服务于高校、科研院所及工业客户,助力光电领域的技术探索

▶服务保障 :技术和服务团队超 300 人,在上海 、深圳 、北京 、成都 、西安 、长春 、郑州有限分公司,提供“终身保固"承诺,确保产品可靠性与售后服务响应速度。

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