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uKSA系列超高精密电动平移台,按照行程分为50、100、150、200mm 等四款产品,是卓立汉光开发的新型电移台,该系列电移台技术指标达到水平。如:闭环分辨率0.1μm,每100mm 行程,直线度、平直度小于6μm。该系列产品配合卓立的MC6003P 或TMC-USB 系列控制器,定位于超高精度要求的领域应用,如:超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。
uKSA系列超高精密电动平移台特点:
1.加厚铝合金底座,基准面精密磨削,保证整体性能稳定
2.内置进口超高精密光栅尺,闭环分辨率可达0.1μm
3.采用进口超高等级滚珠丝杠,可实现超高定位精度
4.采用进口超高等级交叉滚柱导轨,具有超高运动性能
5.标配三相步进电机,有效降低电移台运行时的振动和噪音
选型表
型号 | uKSA50 | uKSA100 | uKSA150 | uKSA200 | |||||
行程(mm) | 50 | 100 | 150 | 200 | |||||
滚珠丝杠导程(mm) | 4 | ||||||||
电机型号 | FHB366-D(三相) | ||||||||
闭环分辨率(μm) | 0.1 | ||||||||
zui大速度(mm/s) | 40 | ||||||||
重复定位精度(μm) | <2 | ||||||||
回程间隙(μm) | <1 | ||||||||
运动直线度(μm) | <6 | <10 | |||||||
运动平直度(μm) | <6 | <10 | |||||||
自重(Kg) | 8.5 | 10.5 | 13.5 | 15 | |||||
中心负载(Kg) | 30 |
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