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拉曼/荧光/光电流综合测试系统 STS系列
产品概述
基于RTS-mini显微系统而搭建,集成拉曼/荧光/光电流原位测试功能。该系统可原位探测拉曼、荧光及光电流信号。配合高精度微米电动位移台,实现Raman Mapping,PL Mapping以及激光诱导光电流成像(LBIC)。深度表征材料内部的分子振动能级与转动能级结构信息,光生载流子的生成与复合机制,器件吸收和电荷生成的微区特性,光电材料界面以及半导体结区的品质分布等特性。
拉曼/荧光/光电流综合测试系统 STS系列技术参数
拉曼/拉曼Mapping | 拉曼频移范围 | 60-6000cm-1 @532nm激光器 |
共焦方式 | 光纤共聚焦 | |
高灵敏度 | 硅三阶拉曼峰的信噪比好于20:1,并能观察到四阶峰 | |
空间分辨率 | ≤1μm@100X物镜,NA0.9,532nm单纵模激光器 | |
光谱CCD探测器 | 分辨率≥2000x256 量子效率在700nm-870nm区间处>90%, 光谱范围:200 ~ 1100 nm | |
荧光/荧光寿命成像 | 光谱扫描范围 | 200-900nm |
最小时间分辨率 | 16ps | |
荧光寿命测量范围 | 500ps-10μs | |
空间分辨率 | ≤1μm@100X物镜@405nm皮秒脉冲激光器 | |
光电流/光电流成像 | 激光器(光源) | 标配532nm激光器,能量稳定性1%@4小时 可选配2路激光器用于光电流测试 |
数据采集 | 电流源表:Keithley 2450 测量范围:1nA – 1A 暗噪声:50pA 分辨率:20fA 准确度: 0.03% | |
探针台 | 直径65mm真空吸附卡盘 探针座和样品整体二维移动,方便样品位置与光斑位置重合 样品位置单独二维移动,方便同类样品更换 样品位置移动行程25mm,分辨率5μm 探针座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm 探针:钨针,直径5μm,10μm,20μm可选 | |
测试功能 | 光电流扫描(Mapping):可以设定固定的电压,逐点获取电流值 I-V曲线扫描(Mapping):可以设定*定的电压区间,逐点获取I-V曲线 | |
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